ROHS檢測光譜儀又稱分光儀，以光電倍增管等光探測器測量譜線不同波長位置強度的裝置。它由一個入射狹縫，一個色散系統，一個成像系統和一個或多個出射狹縫組成。以色散元件將輻射源的電磁輻射分離出所需要的波長或波長區域，并在選定的波長上(或掃描某一波段)進行強度測定。其主要包括進樣系統、電感耦合等離子體光源、光譜儀的分光系統、檢測器-光電轉換器件等部分。